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壓力傳感器的基本參數(shù)
更新時間:2019-02-28  |  點擊率:4788

不論是羅卓尼克傳感器,還是維薩拉、密析爾的壓力傳感器都是一種單片壓阻器件,該器件具有3類:

1. 根本的或未加補償標定;

2. 有標定并停止溫度補償;

3. 有標定、補償和放大。

偏移量、范圍標定、溫度補償均能夠由薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)完成,該薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)在封裝過程采用激光修正。

傳感器通常與微控制器分開運用,而微控制器的嵌入軟件自身樹立了傳感器數(shù)學(xué)模型。微控制器讀取了輸出電壓后,經(jīng)過模數(shù)轉(zhuǎn)換器的變換,該模型能夠?qū)㈦妷毫哭D(zhuǎn)換為壓力丈量值。

傳感器簡單的數(shù)學(xué)模型即為傳送函數(shù)。該模型可在整個標定過程中停止優(yōu)化,并且模型的成熟度將隨標定點的增加而增加。

從計量學(xué)的角度看,丈量誤差具有相當(dāng)嚴厲的定義:它表征了丈量壓力與實踐壓力之間的差別。而通常無法直接得到實踐壓力,但能夠經(jīng)過采用恰當(dāng)?shù)膲毫σ?guī)范加以估量,計量人員通常采用那些精度比被測設(shè)備高出至少10倍的儀器作為丈量規(guī)范。

由于未經(jīng)標定的系統(tǒng)只能運用典型的靈活度和偏移值將輸出電壓轉(zhuǎn)換為壓力,測得的壓力將誤差。

這種未經(jīng)標定的初始誤差由以下幾個局部組成:

a. 偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移堅持恒定,因而變換器擴散和激光調(diào)理修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

b. 靈活度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。假如設(shè)備的靈活度高于典型值,靈活度誤差將是壓力的遞增函數(shù)(見圖1)。假如靈活度低于典型值,那么靈活度誤差將是壓力的遞加函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生緣由在于擴散過程的變化。

c. 線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的要素,該誤差的產(chǎn)生緣由在于硅片的物理非線性,但關(guān)于帶放大器的溫濕度傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線能夠是凹形曲線,也能夠是凸形曲線。

d. 滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差完整能夠疏忽不計,由于硅片具有很高的機械剛度。普通只需在壓力變化很大的情形中思索滯后誤差。

徽科特標定可消弭或極大地減小這些誤差,而補償技術(shù)通常請求肯定系統(tǒng)實踐傳送函數(shù)的參數(shù),而不是簡單的運用典型值。電位計、可調(diào)電阻以及其他硬件均可在補償過程中采用,而軟件則能更靈敏地完成這種誤差補償工作。

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